超高分辨場發(fā)射掃描電鏡是一種用于能源科學技術、航空、航天科學技術、考古學領域的分析儀器，幾乎可以對所有類型的樣本進行圖像處理，陶瓷、金屬、合金、半導體、聚合物、生物樣品等。然而，某些特定類型的樣品更具有挑戰(zhàn)性，并且需要操作者進行額外的樣品制備，以便借助掃描電鏡噴金收集高質量圖片。
超高分辨場發(fā)射掃描電鏡的特點與應用：
(1)全面解析
全面的納米和亞納米分辨率性能，適用于納米顆粒、粉末、催化劑、納米器件、大塊磁性樣品等材料；
(2)很強的靈活性
非常靈活的處理范圍，樣品類型廣泛，包括絕緣體、敏感材料和磁性樣品，收集最重要的數(shù)據(jù)；
(3)SmartAlign技術
使用SmartAlign(智能對中)技術，實現(xiàn)光學系統(tǒng)自動調整，減少維護時間；
(4)先進的自動化
先進的自動化用于自動圖像微調、撤銷、用戶向導、Maps成像拼接的FLASH(閃調)技術；
(5)實時定量EDS
元素信息觸手可及，利用ColorSEM技術，提供實時元素面分布成像定量分析，結果獲取更加快速、簡便；
(6)長工作距離
在長工作距離(10mm)具有高分辨率的性能(1nm)和優(yōu)秀的圖像質量的SEM。
